手套箱式复合热蒸发薄膜沉积系统
一、设备参数：
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规格型号 |
CY-Z500 |
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结构形式 |
真空室采用方型箱体前后开门 采用侧滑门开启 |
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真空室 |
400mm×400mm×500mm |
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真空系统配置 |
机械泵+分子泵 |
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极限压力 |
2.0×10-5Pa（经烘烤除气后）； |
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恢复真空时间 |
25分钟可达到5.0×10-4Pa |
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样品台 |
样片尺寸：可放置120*120mm基片向下兼容 样片（可水冷）加热最高温度：600℃±1℃ 样片旋转：转速0～30转/分 样片与蒸发源间距：250～300mm可调 |
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金属蒸发源 |
加热温度（约）：室温～1500℃ |
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安装位置：腔体底部均匀分布 |
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蒸发源数量：2-6组（任意选配） |
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蒸发源挡板开启关闭方式：手动、气动、电动 |
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冷却方式：水冷 |
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热蒸发电源 |
功率：1000W-2000W |
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电压：5V |
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电流：200A-300A |
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电源数量：2-4台（根据源数量配置） |
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有机蒸发源 |
加热温度：室温-600℃ |
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安装位置：腔体底部均匀分布 |
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蒸发源数量：2-6组（任意选配） |
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控温精度：±1℃ |
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蒸发源挡板开关方式：手动、气动、电动（任选） |
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有机蒸发电源 |
功率：500W-1000W |
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电压：24V |
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电流：20A-40A |
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电源数量：4-8台（根据源数量配置） |
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石英晶振膜厚控制仪 |
膜厚显示范围：0~99μ9999Å |
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膜厚测量分辨率:0.1Å/s |
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膜厚探头数量：2-6只 |
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水冷却循环系统 |
制冷量：2.85KW |
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整机控制方式 （控制方式为选配） |
手动控制 |
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半自动控制 |
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全自动化控制 |
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手套箱 |
箱体尺寸：1800mm（长）×900mm（高）×750mm（下宽） |
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过渡舱 |
尺寸：直径360mm，长600mm |
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循环净化系统 |
控制：水、氧控制在<1ppm |
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调节装置 |
通过PLC触摸式调节（加热、抽空、净化、再生）全过程无需人为监控 |
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工作气体 |
N2或Ar（气体循环） |
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再生系统 |
用于净化系统再次利用，使其活化；再生需要N2/H2或Ar/ H 2的混合气体，其中H2占5-10% |
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显示系统 |
控制单元采用德国Siemens PLC触摸屏，操作菜单：中文 |
